電機関連事業
FA・高機能材料関連
セプラ®
概要
高純度ポリイミド成型体、低温から高温まで幅広く優れた特性を維持するスーパーエンジニアリングプラスチックスです。
従来のポリイミド成型体と比較し、耐熱性、酸素プラズマ耐久性、
アウトガス特性、切削加工性と吸水性が大幅に向上。
有機材料の中で最高クラスの熱変形度470度を達成。
特徴
- 超耐熱性(熱変形温度470℃)
- プラズマ耐性
- 低アウトガス
- 低不純物濃度
- 低吸水性
主な用途
- 半導体製造装置用部品
- 摺動部品
- 摩耗部品
- 絶縁部品
- 耐熱部品