電機関連事業

メカトロ・高機能材料関連

ウェハ移載機

概要

ウェハ移載機は、ウェハカセットからウェハカセットまたはカセットからボートへウエハを双方向に移載する自動機です。
ウェハカセットを上下に搭載する事でコンパクトな設計となっております。
画像は8インチ移載機ですが、それ以外のサイズでも対応可能です。

特徴

  • コンパクト設計
  • 独自のチャック構想でハンドリング可能
  • タッチパネルにより品種選択可能
  • 1枚20秒程度で移載が可能
  • カセット有無検知やウェハ飛出検知機能搭載
  • 100Vにて対応可能

仕様

  • 対象ワーク:φ8インチ
  • カセット:φ8インチカセット(13枚入り)
  • タクト:1枚20秒~
  • 制御方式:タッチパネル
  • 安全機構:カセット有無検知・ウェハ飛出検知機能・過負荷検知・異常警報・非常停止
  • サイズ:500(W)×700(D)×1600(H)mm 200kg

主な用途

  • 半導体
  • パワーデバイス
  • 電子部品

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